手套箱操作提示
1、不管打开内门还是外门,都必须保证门两边的气压基本平衡,否则,要么打不开,要么发生“气爆”现象。同样,在对箱体内抽气与充气时,也必须保证三通阀处于打开状态(即保证手套内外的气压相等),否则,手套会膨胀爆裂。
2、如箱体出现漏气,应首先检查过渡室门是否关紧和手套口是否破损。如还有漏气请检查真空表座、阀门及两个门上的“O”型圈及真空橡皮。过渡室门与手套口门上的“O”型圈要定期更换(根据用户的使用频率而定)。
3、对系统抽气时,半导体手套箱安装,请缓缓打开阀门,并随时注意手套的变化,如出现膨胀,应减慢抽气速度,如仍不能解决问题,应停止抽气,如手套发生爆裂,检查三通阀是否打开。
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手套箱功能原理
手套箱箱体内的工作气体在箱体与净化柱(水氧吸附器)之间,在PLC的控制和监视下,通过管道、循环风机等进行密闭循环。工作气体循环经过净化柱时其所含水分和氧气被吸附掉,然后再返回箱体内,随着循环时间的推移,箱体内工作气体中的水氧含量逐步减少,终达到小于1ppm的指标。净化柱在一定时间的循环后会吸附饱和,可进行再生,重复使用。
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手套箱的日常维护保养
1.要从手套箱内取出放在过渡舱内的样品前,须先将过渡舱上的开关转至“真空”位置,将舱内的空气抽出,再转制“填充”,使干燥洁净的气体由手套箱内进入过渡舱内,重复一、二次之后,即可从手套箱内将过渡舱门打开,取出样品。
2.使用设备时,禁止佩戴手表、戒指等有可能刺破手套的东西,若使用尖锐物品时,也要格外注意以免刺破手套,指甲过长也有几率刺破手套。
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